ProCeas?使用**的OFCEAS技術(shù)，基于萃取吸收光譜法原理。
技術(shù)原理
此項(xiàng)以激光技術(shù)為基礎(chǔ)的檢測(cè)方法，在能夠滿足檢測(cè)亞ppb級(jí)雜質(zhì)含量
含量的同時(shí)，能取得意想不到的高精度及重復(fù)性。ProCeas?采取低壓取
樣技術(shù)，內(nèi)部分析壓力低于100mbar絕壓，此方法降低了檢測(cè)所需的進(jìn)
樣量，以保證取得正確的檢測(cè)結(jié)果并優(yōu)化了分析儀的響應(yīng)時(shí)間。